機械特性
DSP-STC2258型多功能(neng)數字式四探針測試儀
一、概(gai)述(shu)
DSP-STC2258型(xing)多(duo)功(gong)能(neng)數字式四探(tan)針(zhen)測(ce)(ce)試(shi)儀是運(yun)用四探(tan)針(zhen)測(ce)(ce)量原理(li)測(ce)(ce)試(shi)電(dian)阻(zu)率(lv)/方阻(zu)的多(duo)用途綜合測(ce)(ce)量儀器。該(gai)儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅(gui)單晶(jing)電(dian)阻(zu)率(lv)測(ce)(ce)定(ding)方法》、GB/T 1551-1995《硅(gui)、鍺(zang)單晶(jing)電(dian)阻(zu)率(lv)測(ce)(ce)定(ding)直(zhi)流兩探(tan)針(zhen)法》、GB/T 1552-1995《硅(gui)、鍺(zang)單晶(jing)電(dian)阻(zu)率(lv)測(ce)(ce)定(ding)直(zhi)流四探(tan)針(zhen)法》并參(can)考美國 A.S.T.M 標(biao)準。
儀(yi)器(qi)成套組成：由主機(ji)、選(xuan)配的四探(tan)針(zhen)探(tan)頭(tou)、測試臺等部(bu)分組成。
主(zhu)機(ji)主(zhu)要由(you)精密恒流(liu)源、高分(fen)辨(bian)率(lv)ADC、嵌(qian)入式單片機(ji)系統組成(cheng)。儀器(qi)所有(you)參數設(she)定、功(gong)(gong)能轉(zhuan)換全部采用數字(zi)化鍵盤輸(shu)入；具有(you)零位、滿度自(zi)校功(gong)(gong)能；電(dian)壓電(dian)流(liu)全自(zi)動轉(zhuan)換量程；測試結(jie)果(guo)由(you)數字(zi)表(biao)頭直接顯示。本測試儀特贈設(she)測試結(jie)果(guo)分(fen)類(lei)功(gong)(gong)能，*大分(fen)類(lei)10類(lei)。
探(tan)(tan)頭(tou)選配(pei)：根據(ju)不同(tong)材料特性需要，探(tan)(tan)頭(tou)可有(you)多款選配(pei)。有(you)高耐磨碳(tan)化鎢探(tan)(tan)針探(tan)(tan)頭(tou)，以測試硅類(lei)(lei)半導(dao)體、金(jin)屬、導(dao)電(dian)(dian)塑料類(lei)(lei)等硬質材料的(de)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)(zu)率(lv)/方(fang)阻(zu)(zu)(zu)(zu)；也有(you)球(qiu)形鍍金(jin)銅(tong)合金(jin)探(tan)(tan)針探(tan)(tan)頭(tou)，可測柔性材料導(dao)電(dian)(dian)薄膜、金(jin)屬涂層或薄膜、陶瓷(ci)或玻璃等基(ji)底上(shang)導(dao)電(dian)(dian)膜（ITO膜）或納(na)米涂層等半導(dao)體材料的(de)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)(zu)率(lv)/方(fang)阻(zu)(zu)(zu)(zu)。換(huan)上(shang)四端子測試夾具，還(huan)可對電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)(zu)器(qi)體電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)(zu)、金(jin)屬導(dao)體的(de)低(di)、中值電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)(zu)以及開關類(lei)(lei)接觸電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)(zu)進(jin)行測量。配(pei)專用探(tan)(tan)頭(tou)，也可測試電(dian)(dian)池極片等箔上(shang)涂層電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)(zu)率(lv)方(fang)阻(zu)(zu)(zu)(zu)。
測(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)選(xuan)配：一般四探(tan)(tan)針(zhen)法(fa)測(ce)(ce)(ce)試(shi)電(dian)阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型(xing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)。二探(tan)(tan)針(zhen)法(fa)測(ce)(ce)(ce)試(shi)電(dian)阻率測(ce)(ce)(ce)試(shi)選(xuan)SZT-K型(xing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)，也可選(xuan)配SZT-D型(xing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)以測(ce)(ce)(ce)試(shi)半導體粉末電(dian)阻率，選(xuan)配SZT-G型(xing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)測(ce)(ce)(ce)試(shi)橡塑材料電(dian)阻率。詳(xiang)見《四探(tan)(tan)針(zhen)儀(yi)器、探(tan)(tan)頭和(he)測(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)的特點與選(xuan)型(xing)參考(kao)》
儀器具(ju)有測(ce)量精度(du)高、靈敏度(du)高、穩定性(xing)好、智能(neng)化程度(du)高、結構(gou)緊湊、使(shi)用簡(jian)便等特點。
儀器適用(yong)于半(ban)導(dao)體材料廠器件廠、科研單(dan)位(wei)、高等院(yuan)校對(dui)導(dao)體、半(ban)導(dao)體、類(lei)半(ban)導(dao)體材料的導(dao)電性能的測試。
二、基本技術參數
1. 測量范(fan)圍(wei)、分辨率（括號(hao)內為可(ke)向(xiang)下拓(tuo)展1個數(shu)量級） 電 阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω） 電 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω-cm （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm） 方塊電阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103 Ω/□ （5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω/□） 2. 材(cai)料尺寸(cun)(由選配測試臺和測試方式決定(ding)) 直 徑： SZT-A圓測(ce)試(shi)(shi)臺直接測(ce)試(shi)(shi)方(fang)式(shi) Φ15～130mm，手持(chi)方(fang)式(shi)不限 SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式(shi)180mm×180mm，手(shou)持(chi)方式(shi)不限. 長(高)度： 測試(shi)臺直接測試(shi)方式 H≤100mm, 手持方式不(bu)限. 測量方位: 軸向、徑向均可 3. 量程劃分及誤差等級
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滿度(du)顯示
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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常規量程(cheng)
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kΩ-cm/□
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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*大拓展量(liang)程
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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mΩ-cm/□
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基本(ben)誤(wu)差
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±2%FSB
±4LSB
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±1.5%FSB
±4LSB
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±0.5%FSB±2LSB
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±0.5%FSB
±4LSB
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±1.0%FSB
±4LSB
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3.工作(zuo)電(dian)源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
4.外形尺寸(cun)： 245mm（長(chang)）×220 mm（寬）×95mm（高）
凈 重：≤1.5～2.0kg
